金剛石線切割碳化硅(直徑100mm)試驗(yàn)記錄
碳化硅是硬度較高的人工晶體,又叫莫來(lái)石(或莫乃石),外觀肉眼看上去是黑色的。切割成薄片之后,可以透光,半透明狀。莫氏硬度9.2~9.3,比藍(lán)寶石硬,藍(lán)寶石莫氏硬度8.9~9.0。硬度次于金剛石。所以使用金剛石線切割機(jī)切割碳化硅適宜。
碳化硅切割試驗(yàn)內(nèi)容:使用泰州晨虹CH5630-XL型數(shù)控單線立式結(jié)構(gòu)金剛石線切割機(jī)對(duì)直徑90mm、100mm碳化硅圓柱分別切片,了解切割碳化硅的金剛石線直徑規(guī)格、切割時(shí)候的速度(加工效率)、切割時(shí)長(zhǎng)和切割碳化硅對(duì)金剛石線的損耗程度。
碳化硅切割試驗(yàn)結(jié)果:先對(duì)直徑為90mm碳化硅進(jìn)行擺動(dòng)式切割,使用0.3mm直徑砂線60米左右,切割一片的兩面,割完兩片再換砂線。機(jī)床進(jìn)給效率為17μm/s(實(shí)時(shí)切割效率,指的是機(jī)床切割的時(shí)候一秒走多遠(yuǎn)),切割一片的一面,耗時(shí)1小時(shí)37分55秒,第二面用時(shí)1小時(shí)40分鐘,然后再換新的砂線。當(dāng)時(shí)來(lái)做切割試驗(yàn)的客戶工程師感到很驚訝,因?yàn)橹八麄兦懈钸@一面需要5個(gè)多小時(shí)。接下來(lái)的兩天里,我們對(duì)直徑為100mm的碳化硅嘗試各種工藝切割,耗時(shí)均在3個(gè)多小時(shí)左右。
下圖為晨虹金剛石線切割機(jī)切割碳化硅晶體,拍攝時(shí)間為2013年1月
下圖為切割之后的端面